南華大學半導體應用學士學位學程之「先進半導體設計應用暨仿生智慧製造中心 (ASABIM Center)」的整體規劃與核心架構,聚焦於半導體良率工程全鏈式實作。以下從實作架構、工作站配置與教育目標為您進一步深入解析:
1. 核心教育理念與教練機制
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產學研專家教練團隊:透過跨領域的產學研專家教練團隊帶領,打破傳統單一學科的框架,提供實戰導向的指導。
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資源池化與動態重組:運用核心設備資源池化、跨站共享及動態重組的機制,將上游設計到下游驗證緊密串聯。
2. 七大關鍵製程與良率全鏈
中心建構了涵蓋完整生命週期的流程:
Design→Process→Measurement→Failure Analysis→Root Cause→Improvement→Verification
3. 五大機敏式微型工作站(W1 - W5)
中心設立五大製程標的導向之工作站,對應先進半導體的關鍵環節:
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W1 微圖形設計與光製程機敏式微型工作站:聚焦微圖形與曝光製程。
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W2 光阻塗佈與光固化驗證機敏式微型工作站:專注於光阻材料與固化行為。
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W3 CMP潔淨與顆粒界面機敏式微型工作站:處理化學機械平坦化後的潔淨度與顆粒界面問題。
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W4 表面形貌與顯微缺陷機敏式微型工作站:進行高解析表面觀察與微型缺陷檢測。
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W5 先進封裝熱應力與異質界面機敏式微型工作站:針對先進封裝的熱機械應力與介面行為進行分析。
4. 精密儀器與分析模組
各工作站導入企業級重要精密儀器,強化實作能量,例如:
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物理與熱學分析:熱應力分析、薄膜界電位、動靜態表面張力。
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光學與顯微檢測:光刻/光製程設備、顯微影像系統、反射式紅外光譜。
5. 核心培育目標
旨在為高科技產業培養即戰力人才,落實五大職能:
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良率工程全鏈思維
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製程與量測整合能力
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失效分析與根因判讀能力
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改善與驗證實戰能力
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銜接半導體製程良率工程職能
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